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2014.01.20 17:11

8세대급 디지털 노광장비 핵심기술 개발

  • 편집국 | 284호 | 2014-01-20 | 조회수 2,187 Copy Link 인기
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연간 6,000억원 규모 수입 대체효과 기대

우리나라가 세계 최초로 디스플레이용 디지털 노광장비의 핵심기술을 개발했다.
노광기는 포토마스크에 빛을 쪼여 유리 기판에 회로를 형성하는 장비로 노광공정은 평판디스플레이(FPD) 제조 공정의 30~40% 이상을 차지하는 핵심 공정을 차지한다.
노광장비는 디스플레이 5대 핵심 장비 중 최근까지도 유일하게 국산화하지 못한 장비였다. 국내 원천 기술이 전무해 그동안 일본 등 선진국에서 장비를 전량 수입해 왔다.
따라서 노광장비 핵심기술의 개발로 인해 우리나라는 디스플레이 생산 공정의 60%를 국산화할 수 있게 됐다.
또한 기존의 노광기처럼 회로도를 담은 포토마스크를 빛에 노출시켜 유리기판에 회로패턴을 그리는 아날로그 방식이 아니라, 포토마스크 없이 컴퓨터로 설계한 회로패턴을 직접 유리기판에 투영시키는 디지털 방식으로 개발돼 공정 기간을 단축할 수 있고 원가 절감 효과도 크다.
기술 개발에는 삼성전자, LG전자, 코아시스템즈, 풍산시스템, 에버테크노, 연세대 등 21개 산·학·연 관련 기관이 참여했으며 산업통상자원부는 지난 2008년부터 5년간 전자·정보 디바이스 산업 원천기술개발 사업을 통해 212억원의 예산을 지원했다.

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